詳細(xì)介紹
【商品名稱】:擴散爐TK180 |
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【生產(chǎn)廠家】:同志科技
【商品規(guī)格】:TK180 |
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【商品簡介】:
擴散爐專門設(shè)計用于半導(dǎo)體材料擴散、氧化工藝;同時也用于太陽能電池行業(yè)的氮化硅、磷硅玻璃、硼磷硅玻璃、多晶硅等多種渡膜(LPCVD)工藝。 窯爐采用FEC陶瓷纖維管保溫、KANTHEL爐絲,氣煉石英管作為爐膛, 可預(yù)抽真空并可通入?yún)⑴c反應(yīng)沉積的氣體。
溫度控制系統(tǒng)選用日本進口單回路智能溫度控制儀控制、溫區(qū)設(shè)計隔板結(jié)構(gòu),恒溫區(qū)溫度均勻。進口或國產(chǎn)氣氛控制系統(tǒng),質(zhì)量流量計控制。設(shè)備具有溫度均勻、控制穩(wěn)定、溫區(qū)間溫度擾動小、升溫速度快、節(jié)能、使用溫度高、壽命長等特點,是理想企業(yè)的研制、生產(chǎn)設(shè)備。 |
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【備 注】:
主要技術(shù)參數(shù)見下表:
項目 |
參數(shù) |
爐膛尺寸 |
ф180(外徑)×2200 mm |
加熱區(qū)長 |
700 mm |
溫區(qū)點數(shù) |
3 點/單管 |
工作溫度 |
RT~ 1200℃ (最高爐溫 1250℃ ) |
控制精度 |
±1 ℃ |
報警保護 |
超溫、欠溫、斷偶、等報警保護 |
升溫功率 |
12 KW/單管 |
重量 |
550 Kg |
注:用戶有何特殊要求可協(xié)商。
注意:如果產(chǎn)品升級恕不另行通知,網(wǎng)站及資料會同步升級,并以實物為準(zhǔn)! |
本頁關(guān)鍵詞:擴散爐,擴散,半導(dǎo)體材料擴散爐,擴散工藝,氧化工藝,渡膜工藝
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